真空中继连接器
用低脱气材料制成
Globetech的真空中继连接器使用防脱气材料制成。这些材料可在真空环境中持续使用，例如无氧铜（OFC）、不锈钢、氟树脂及陶瓷。
使用真空中继连接器可以简化真空装置的维护和管理。Globetech的所有真空中继连接器都是定制产品。我们可以根据客户的要求，定制设计形状、材料及电气规格。
特点
- 可以定制客户所需的所有连接器形状、材料及电气规格。
- 本连接器使用低脱气材料制成，可在真空环境中使用。
- 传感器或加热器电缆易于在真空室内安装/拆卸。
- 连接器可以增加大电流通电、耐热性及无磁性等功能。
应用
- 用于FPD制造设备的加热器电源和热电偶信号。
- 半导体制造设备中的静电吸盘的电源装置。
- 真空输送机器人的传感器信号。
- 真空步进电机的电源和控制信号。
定制方案
Globetech的真空中继连接器都是定制产品。我们根据客户要求设计极数、电流、电压、锁定结构类型及材料。
在半导体制造过程中需要在真空环境下通电，为了不使生产线停工，对连接器的稳定性要求很高。同时，由于经常需要更换传感器和加热器，因此连接器必须具有便于安装和拆卸或更换故障部件的结构。
Globetech的真空中继连接器的稳定性很高，易于安装和拆卸，从而减少了半导体生产线的停机时间。
案例 1
问题现有的加热器耗材需要使用工具并通过“螺丝固定”与连接器连接，因此在定期维护工作中花费大量时间和工作成本。
Solution通过引入Globetech的真空中继连接器，可以在更换加热器时无需使用工具即可快速更换加热器，显著缩短工作时间。
案例 2
问题温度传感器故障时，需要派遣工程师来修理连接器部分，生产线的停止时间将会变长，令人困扰不已。
解决方案通过引进Globetech的真空中继连机器可以通过连接器的装卸完成修理，因此制造设备的用户可以自己进行温度传感器的修理。由此缩短了生产线的停止时间。
案例 3
问题将大气中的连接器带入真空环境中，但是排气导致半导体制造出现问题。
解决方案使用难以排出气体的材料，不会产生对制造设备造成污染的气体，由此减少了半导体的生产损耗。
接触件
标准品用于导电部件的插座触头和插针触头。常规信号或电流连接可以使用#16、#12和#8触头。 对于热电偶信号，我们有K型、E型和T型触点的产品阵容。
如需传导更大的电流或对耐热性有要求，我们可以提供定制服务。
＃16触头（插针直径：1.6毫米）
电流：13A
＃12触头（插针直径：2.4毫米）
电流：23A
＃8触头（插针直径：3.6毫米）
电流：46A
＃热电偶触头（插针直径：1.6毫米）
当前值：用于信号产品示例
单极中继连接器
螺丝锁紧类型
2极中继连接器
通过闩锁结构和D形切割防止误插入。
4极中继连接器
通过内置螺丝锁结构，防止插针布置导致的误插入。
多极中继连接器
根据客户的设计要求，可以生产具有多种极数的连接器。
2极中继连接器
通过使用＃8触头可以支持高电流。
10极真空连接器
法兰形状可以固定在面板上。
14极方形连接器
可以提供正方形结构，且可以生产防止误插入的形状。
3极方形连接器
真空连接器，使用耐热温度为250℃的触头。